(1)檢查真空探頭表面和通信無異常,更換新的真空計量探頭并進行測試,出現同樣的情況,故排除真空探頭原因。
(2)進行滅菌干燥,接著進行UT測試,出現同樣的情況,故排除水汽原因。
(3)手動開啟UT測試,抽到一定真空數值時,手動關閉蘑菇閥,檢測泄漏位置。關閉蘑菇閥后發現前箱真空數值逐漸上升,冷阱真空數值不變,則判斷是前箱發生泄漏;接著關閉前箱進氣閥6V1,發現前箱真空數值還是逐漸上升,則判斷是前箱發生泄漏﹐不是進氣段泄漏影響造成的;隨后檢查前箱的大門密封圈、進料小門密封圈、出料小門密封圈,未發現異常;接著對前箱腔體相連接的閥門墊片進行拆開檢查,最后發現是前箱的一個閥門膜片破損造成的真空泄漏。緊接著進行閥門膜片的更換,更換后又進行真空測試,未出現異常;然后又進行清洗滅菌,之后又進行真空測試,未出現異常,最終真空泄漏率合格。